參展2018年華東地區(電子) 顯微學學術交流會

Kyle Chang

2018年5月10-11日，由福建省、浙江省、上海市、江蘇省、安徽省、山東省電鏡學會聯合舉辦的“2018年華東地區(電子) 顯微學學術交流會”在福州舉辦。速普公司攜SPC（TEM樣品桿真空等離子清洗儀）和ISC（離子濺射儀）產品Demo樣機，RPS（SEM原位等離子清洗源）和Combo（SEM多功能離子濺射儀）產品資料參展，并向蒞臨展位客戶介紹了我司產品最新進展、特點及應用。展位吸引了數十位來自華東地區的公司企業、高校、研究所的技術人員駐足參觀及詢問。

其中，ISC150離子濺射儀/噴金儀系速普最新一代噴金儀產品。目前市面上主流噴金儀產品，采用高電壓二極直流濺射方式沉積薄膜，這種設計優點是結構簡單，但是缺點是容易造成能量集中，對于樣品有明顯的溫升效應的。

我司ISC150噴金儀采用磁控濺射手段，通過磁控陰極+專用恒功率控制電源方式對樣品噴金處理，因而可以在更低氣壓和工作電壓起輝，因此有較低的離子轟擊損傷和溫升效應、更細膩的金膜、恒定沉積速率等優點；另外，我們的特點還有實現自動化控制，采用觸控面板，操作簡單。

技術規格及參數如下表所示：

會議現場，速普技術人員與眾多電鏡領域的專家和同行同仁進行了深入交流，并為廣大客戶詳細介紹了速普儀器在電鏡周邊配套及樣品前處理產品的最新進展。

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